Vakum Pompası Seçimi ---Kılavuzu
Vakum pompası seçerken aşağıdaki hususlara dikkat etmeniz gerekir:
1. Vakum pompasının çalışma basıncı, vakum ekipmanının nihai vakum ve çalışma basıncı gereksinimlerini karşılamalıdır. Örneğin: vakumlu kaplama, 110-5mmHg'lik bir vakum derecesi gerektirir ve seçilen vakum pompasının vakum derecesi en az 510-6mmHg olmalıdır. Genellikle pompanın vakum derecesi, vakum ekipmanının vakum derecesinden yarım ila bir kat daha yüksek olacak şekilde seçilir.
2. Vakum pompasının çalışma noktasını doğru şekilde seçin. Her pompa tipinin, bir difüzyon pompası için 10-3~10-7mmHg gibi belirli bir çalışma basıncı aralığı vardır. Bu kadar geniş bir basınç aralığında pompanın pompalama hızı basınca göre değişir ve sabit çalışma basıncı aralığı 510-4 ~510-6mmHg'dir. Bu nedenle pompanın çalışma noktası bu aralıkta seçilmeli ve uzun süre 10-8mmHg'nin altında çalışmasına izin verilmemelidir. Diğer bir örnek ise titanyum süblimasyon pompasının 10-2mmHg'de çalışabilmesi ancak çalışma basıncının 110-5mmHg'den az olması gerektiğidir.
3. Vakum pompası, vakum ekipmanı işlemi sırasında üretilen tüm gazı çalışma basıncı altında boşaltabilmelidir. 4. Vakum pompasını doğru şekilde birleştirin. Vakum pompaları seçici pompalama yeteneklerine sahip olduğundan, bazen bir tür pompa pompalama gereksinimlerini karşılayamaz ve pompalama gereksinimlerini karşılamak için birkaç pompanın birbirini tamamlayacak şekilde birleştirilmesi gerekir. Örneğin, bir titanyum süblimasyon pompası hidrojen için yüksek bir pompalama hızına sahiptir ancak helyumu pompalayamazken, üç kutuplu püskürtmeli iyon pompası (veya diyot asimetrik katot püskürtmeli iyon pompası) argon için belirli bir pompalama hızına sahiptir. Kombine edildiğinde vakum cihazı daha iyi bir vakum derecesi elde edecektir. Ayrıca bazı vakum pompaları atmosferik basınç altında çalışamaz ve ön vakum gerektirir; Bazı vakum pompalarının çıkış basınçları atmosfer basıncından daha düşüktür ve bir destek pompası gerektirirler, dolayısıyla pompaların birleştirilmesi gerekir.
5. Vakum ekipmanındaki yağ kirliliğine ilişkin gereklilikler. Ekipman kesinlikle yağsız gerektiriyorsa, su halkalı pompalar, moleküler elek adsorpsiyon pompaları, püskürtme iyon pompaları, kriyojenik pompalar vb. gibi çeşitli yağsız pompalar seçilmelidir. Gereksinimler katı değilse, aşağıdakileri seçebilirsiniz: bir yağ pompasına sahip olun ve temiz vakum gereksinimlerini karşılamak için soğuk tuzaklar, saptırma plakaları, yağ tutucular vb. eklemek gibi bazı petrol kirliliği önleyici önlemler ekleyin.
6. Pompalanan gazın bileşimini, yoğunlaşabilir buhar içerip içermediğini, parçacık toz olup olmadığını, aşındırıcı olup olmadığını vb. anlayın. Bir vakum pompası seçerken, gaz bileşimini bilmeniz ve gaz için ilgili pompayı seçmeniz gerekir. pompalanacak. Gazın buhar, partikül ve aşındırıcı gazlar içermesi durumunda pompanın hava giriş boru hattına kondenser, toz toplayıcı vb. yardımcı ekipmanların takılmasını düşünmelisiniz.
7. Vakum pompasından çıkan yağ buharının çevreye etkisi nedir? Ortam kirliliğe izin vermiyorsa yağsız bir vakum pompası seçebilir veya yağ buharını dış mekana boşaltabilirsiniz.
8. Vakum pompasının çalışma sırasında ürettiği titreşimin prosese ve çevreye herhangi bir etkisi var mı? Proses buna izin vermiyorsa titreşimsiz bir pompa seçilmeli veya titreşimi önleyici önlemler alınmalıdır.
9. Vakum pompalarının fiyatı, işletme ve bakım maliyetleri.